材料電磁參數測量技術方案諧振腔法

　　材料電磁參數測試技術是一門歷史悠久的學科，發展至今已經建立了一套龐大的測試技術體系，測試方法種類繁多，測試時應該根據待測材料的參數范圍和測試頻段的不同而選擇合適的方法。

　　在微波和毫米波的頻率范圍內，根據測試原理的不同可以分為網絡參數法和諧振法兩大類。

　　諧振腔法是所有介電常數測量方法中準確度最高的。

　　其基本原理為：將樣品置于一個分離式或閉式的諧振腔中，通過樣品材料放置前后對腔體電磁場結構的影響，利用矢量網絡分析儀，測出腔體的品質因數Q和諧振頻率的變化。根據品質因數、諧振頻率與電磁參數的關系，通過測試軟件的計算，推導出材料的相關電磁參數。

　　測量方法具體包括：分離式諧振腔法和閉式諧振腔法。

　　分離式諧振腔法

　　分離介質諧振腔用于測試平板類介質材料在高頻微波頻段的介電常數和損耗，包括如LTCC、HTCC、ALN以及其他各類微波介質陶瓷電路板，及常用各類PCB電路板的微波頻段介電性能。

　　測量時利用電磁場諧振進行測試，通過矢量網絡分析儀，測量樣品放置前和放置后諧振峰的頻率偏移量△f以及品質因數Q值變化，基于嚴格的電磁場分析，得到介質材料復介電常數的準確解。

　　閉式諧振腔法

　　閉式諧振腔法相較于開腔測量范圍更廣。該方法夾具主要為一塊全封閉結構的圓柱形金屬腔體，上方蓋體可以打開，被測件在腔體內部用低損耗介質柱支撐放置于中心位置。

　　測量時利用電磁場諧振進行測試，通過矢量網絡分析儀測量樣品放置前和放置后諧振峰的頻率偏移量△f以及品質因數Q值變化，并通過測量軟件對數據進行采集、分析、處理，最終得到測量樣品的電磁相關參數。