搭建一個半導體實驗室需要什么設備
半導體測試包括前期的研發,后期的生產的測試。
前期研發,進行材料測試,晶圓測試,后期的器件測試等。
材料測試常用的是LCR數字電橋,阻抗分析儀,網絡分析儀,電源,萬用表,源表,靜電計,半導體參數分析儀,探針臺,信號發生器,功率放大器,示波器等等。
比如測試薄膜等材料,需要測試阻抗,容值等,根據頻率需要用到數字電橋或者阻抗分析儀,或者測試介電常數,用到阻抗分析儀或者網絡分析儀。
數字電橋的頻率一般是幾Hz~幾MHz,阻抗分析儀是幾MHz~3GHz,網絡分析儀可以測試大于3GHz的介電常數。根據測試頻率選擇合適的儀器。
除了介電常數之外,還需要測試IV曲線等,可以用源表測試。
測試小于nA級別的電流,需要用到靜電計,萬用表等。
需要測試多端器件,可以用雙通道源表或者半導體參數分析儀。
兩端器件或者三端器件可以用雙通道源表測試,比如二極管,三極管等。三端以上器件,就需要用到半導體參數分析儀了,比如吉時利4200A,或者是德科技B1500A。
配合探針臺可以實現多端器件的測試。
封裝好的半導體器件,需要供電,還要用到電源,或者信號發生器和功率放大器。
測試產生的波形會用到示波器,比如測試三極管的放大倍數的時候等,只要觀察波形,都需要示波器。
半導體測試從前到后需要進行非常多的測試項目,所用到的儀器也非常多,以上只是一部分,供大家參考。
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