憶阻器測試方案
問題:客戶做憶阻器相關測試,需要搭配一套方案滿足測試需求
問題分析:
憶阻器測試流程熟悉:
作為存儲器,憶阻器同樣有“置0”和“置1”及讀操作,只不過“置0”被稱為“RESET”,即從低阻態(LRS)重置為高阻態(HRS),反之被稱為SET,即“置1”操作。
但憶阻器在進行讀寫操作之前,需要做一次“Forming”,這個激發操作之后,憶阻器件才具有正常的憶阻特性。在各個操作階段,都需要對憶阻器特性進行表征,測試流程如下:
Forming前后特性驗證。驗證Forming前后的電阻。通常沒有特殊的測試步驟,一般與憶阻器單元IV特性測試結合在一起。
憶阻器單元IV特性測試(通常與Forming結合)。測試SET/RESET,HRS/LRS IV特性,憶阻器單元的基本測試
高速脈沖測試。用更窄脈寬的讀/寫脈沖序列進行讀寫測試,憶阻器單元的速度極限能力測試
數據保留測試(Data retention)。數據保存后,在不同的環境下持續讀出,測試憶阻器單元保存數據的持久力
循環次數測試(Endurance)。高頻率寫,持續讀,驗證憶阻器單元的耐受力
在憶阻器初級研發階段,Forming及IV特性測試為基本測試,高速脈沖測試驗證憶阻器的極限功能。在后續更深入的研究情況下,就根據測試需要進行調整。
客戶問題分析:
需要進行IV特性測試,高速脈沖測試
如何解決:
根據不同測試項目搭配方案,最好能夠一套方案滿足測試需求:
通用配置一:(示例:半導體參數分析儀Fspro+探針臺)
配備源表模塊和脈沖測試模塊,一套設備實現客戶測試需求
通用配置二:(示例:半導體參數分析儀4200+探針臺)
配備源表模塊和脈沖測試模塊,一套設備實現客戶測試需求
當然了還有低成本方案:
26xx系列SMU,同時需有脈沖功能+簡易探針
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相應方案(摘自泰克數據表格)