LCR表在半導體分立器件 C-V 特性測試方案
方案特點
包含C-V(電容-電壓),C-T(電容-時間),C-F(電容-頻率)等多項測試測試功能,C-V測試最多同時支持測試四條不同頻率下的曲線。
測試和計算過程由軟件自動執行,能夠顯示數據和曲線,節省時間。
提供外置直流偏壓盒,最高偏壓支持到正負200V,頻率范圍100Hz-1MHz。
支持使用吉時利24XX/26XX系列源表提供偏壓。
測試功能
電壓-電容掃描測試
頻率-電容掃描測試
電容-時間掃描測試
MOS器件二氧化硅層厚度、襯底摻雜濃度等參數的計算
原始數據圖形化顯示和保存
MOS電容的C-V特性測試方案
系統結構
系統主要由源表、LCR表、探針臺和上位機軟件組成。LCR表支持的測量頻率范圍在0.1Hz~30MHz。源表(SMU)負責提供可調直流電壓偏置,通過偏置夾具盒CT8001加載在待測件上。
LCR表測試交流阻抗的方式是在HCUR端輸出交流電流,在LCUR端測試電流,同時在HPOT和LPOT端測量電壓值。電壓和電流通過鎖相環路同步測量,可以精確地得到兩者之間的幅度和相位信息,繼而可以推算出交流阻抗參數。
LCR表與待測件連接圖
CV特性曲線測試結果
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