Keithley 6430 亞fA程控源表

一、Keithley 6430 亞fA程控源表產品介紹：

6430亞fA程控源表集合了吉時利源表 和源測量單元（SMU）產品的電壓源和電流 源及測量功能，比靜電計靈敏度更高，噪 聲更低，輸入阻抗更高。這種獨特的性能 是通過6430遠端前置放大器實現的，它提 供非常靈敏的雙向放大器，用于測量或產 生被測試器件的電流。遠端前置放大器輸 出的高電平信號通過一條2米長的線纜發 送到控制主機上。這使得用戶可以直接， 或者近距離連接該信號，減少線纜噪聲 的影響。

二、主要特點:
0.4fA p-p (4E-16A)噪聲
遠端前置放大器可以位于信號源處以減少線纜噪聲
電壓測量的輸入阻抗>1016Ω
高速——達2000讀數/秒
分辨率達6位半
快速元件特性分析，帶可編程數字I/O和接口
6430按照靜電計無法達到的速度測量 電壓、電流與電阻。它可以每秒讀取最多 2000源/測量讀數，讀入內部存儲器中。 可以測量快速小電流，100nA量程可響應 短至5ms的信號，較大量程可響應幾百微 秒的信號。
6430的獨特特點包括其優秀的低電 流靈敏度和遠端前置放大器，這通過避 免長輸入線纜發揮了靈敏度的作用。遠 端前置放大器是6430反饋測量系統的主 要部分，雖然通過長達2米，帶載高電平 信號的連接線纜它能離開主機一段距離 但是它不能獨立于測量主機工作。
三、應用
6430的功能使其同樣適于在測試實 驗室的研究工作和復雜元件的評估，結 合其它源測量儀器或SMU用于在較高電平 上進行低電流、高電阻或高靈敏度的半 導體測量。6430的低噪聲和漂移性能也非 常適合高阻性納米線和其它高阻納米材 料的研究。
高速數據處理

6430能以超過2000個讀數/秒的速度 讀至其內存緩沖器。IEEE-488總線輸出能 每秒發送達75個源/測量讀數至外部計算 機控制器，包括通過/失效指示。

6430能提供達2.2W的4象限源， 以及低至亞fA和微伏電平的測量 靈敏度。在高達20V，它能測量從 1pA量程（僅0.4fA峰峰值噪聲）至 100mA量程的電流。可提供200mV至 200V的電壓范圍。電流和電壓量程 設置定義了源或阱電壓或電流的 最大值。
典型應用：
半導體測量
基于FET元件中的柵 極漏電或溝道漏電會在 MOSFET、FET、模擬開關和許 多其它電路中產生誤差。通 過允許研究人員測量極低電 平的電流和電壓，6430能幫 助他們了解這些元件的設計 局限以及研究替代器件的結 構或材料。
SET研究
6430具有的優秀低電流測量能力（<0.4fA峰峰值）使其對于單電子晶體管 （SET）和量子點研究非常有用。使用類似于鎖定的技術，6430能以1aA靈敏度測量 電流（10–18A=6電子/秒）。
測量行業的最低噪聲和漂移
下圖的數據表明6430在5小時期間內穩定性非常突出，而且短期的低噪聲性能 優秀。使用6430的AUTOFILTER以5秒上升時間在1pA量程上實現微弱信號采集。插 圖中的細節是濾波信號的截圖，顯示了6430型在最開始的100秒期間的低噪聲性能 （僅200aA峰峰值）。在溫度變化約1°C的實驗室環境下提取數據，其中6430的IN/ OUT HI和SENSE引線接防護罩。